淨化空調係統中的草莓视频APP入口在线選擇原則探討中國電子工程設計院世源科技工程有限公司 雷虹 中國電子工程設計院世源希達工程技術公司 李誌華 摘要：介紹潔淨度級別和草莓视频APP入口在线效率，將淨化廠房分為3個級別：100級、10000級、100000級。從兩個方麵分析了空氣淨化係統的草莓视频APP入口在线組合對潔淨度和草莓视频APP入口在线壽命的影響，針對目前出現的問題進行了分析，提出了相應的對策。 關鍵詞：草莓视频APP入口在线；濾器效率；潔淨度；終阻力；沉降粒子；浮遊粒子

0·引言隨著大規模、超大規模集成電路集成度的不斷提高，在影響成品率的諸多原因中塵埃導致的比例不斷增大，同時足以使電路芯片短路報廢的塵埃粒子的直徑也必然越來越小。

在淨化間的一些技術參數如：潔淨度、溫濕度、氣流組織、化學汙染的含量、正壓值等中間，空調係統的草莓视频APP入口在线組合與廠房的潔淨度有密切的關係。

選擇合理的空氣草莓视频APP入口在线效率級別和空氣草莓视频APP入口在线的組合對保證廠房的潔淨度級別、減少草莓视频APP入口在线更換頻度、增加草莓视频APP入口在线的壽命、降低運行成本有著重要的意義。本文在分析潔淨度級別的標準和評價草莓视频APP入口在线技術參數的基礎上，對我公司所做工程首鋼前工序百級淨化間的空氣淨化係統的草莓视频APP入口在线使用狀況進行了分析，並提出相應的改進措施。

1·潔淨度級別及草莓视频APP入口在线效率 1.1潔淨度級別國內外有代表性的劃分潔淨度級別的製度有兩種：英製和公製。

英製有美國聯邦標準209、美國國家航空和宇宙航行局NASA標準、最新美國聯邦標準FS2 0 9 D。

公製有英國標準BS5295、前蘇聯標準ГCTII-1 7 0-0 5 0.0 0 l-7 3、聯邦德國工程師學會標準VDl2083、日本工業標準JIS、中國標準和國際標準ISO 14644等。

下麵以有代表性而且為許多國家通用的美國聯邦標準FS 209D為例說明： 根據美國聯邦標準FS 209D的規定（見表1），含塵濃度作為評價潔淨度級別的濃度限定值。評價方法是：在潔淨室工作區平麵上多點采樣，各點在一段時間內連續測得含塵濃度平均值，如果滿足表1條件，則認為此潔淨室工作區達到該濃度限定值所對應的潔淨度級別。

1.2草莓视频APP入口在线的主要性能指標

式中：A為濾料層結構特性係數；B為草莓视频APP入口在线結構阻力係數；u為草莓视频APP入口在线麵風速，m/s；n為試驗指數。容塵量：當草莓视频APP入口在线的阻力（在額定風量下）達到終阻力時，草莓视频APP入口在线所容納的塵埃質量。

1.3草莓视频APP入口在线效率檢測方法和分類 （1）效率檢測方法常用的效率檢測方法：計重法（粗效）、比色法（Dust-spot）（中效）、鈉鹽法（SodiumF l a m e）（中國高效）、D O P法（美國高效）、油霧法（俄羅斯高效）、熒光法（英國高效）、熒光素鈉法（法國高效）、大氣塵計數法（中國粗、中效）、MPPS法等。

（2）草莓视频APP入口在线效率分類過濾效率是在特定測試方法下的測試值，在標記效率值時必須注明相應的測試方法，不同的國家有不同的表示方法，見表2。

2 ·現狀分析此項目的潔淨廠房根據潔淨度的不同可以分為三類：100級、l0000級、100000級。 前工序作業室是l00級的淨化級別；前工序用力室和後工序的中測、組立、封入是l0000級淨化級別；選別和64M車間是l00000級的淨化級別。下麵分別介紹一下不同級別淨化間的空氣淨化係統流程圖。

l00級的空氣淨化係統：

l00000級的空氣淨化係統：

下麵從兩個方麵分析空氣淨化係統的草莓视频APP入口在线組合對潔淨度及草莓视频APP入口在线壽命的影響：（1）對潔淨度的影響檢測淨化間的潔淨度的方法一般有以下幾種（以0.3μm、100 class為例）： a）新工程完工後要做高效草莓视频APP入口在线的掃描檢漏標準：0.3μm以上粒子連續增加為0個。 目的：檢查高效草莓视频APP入口在线的安裝及與淨化間的接縫處，有無破損和裂縫，有無塵埃泄漏。 檢測器：Lasair-110、測定用的台車等。 試驗條件：動力空調係統運行良好，環境滿足淨化要求。 測定點：全部高效草莓视频APP入口在线。 測定方法：高效草莓视频APP入口在线區域（作業室）。 采樣口與高效草莓视频APP入口在线的距離30 mm，掃描速度50 mm/s。 檢查高效草莓视频APP入口在线的平麵及周邊有無塵埃泄漏。

b）沉降粒子標準：粒子總數增加不超過100個，塵埃的增加數<100個，當超出規格時，需再檢一次。試驗條件：動力空調係統運行良好，環境滿足淨化要求。 測定方法：將符合要求的參考片（要求塵埃初始值總數<50個）水平放矽片盒上；經過24 h後，測定並計算塵埃數之差。

c）浮遊粒子標準：作業室0.3μm以上粒子<35個/CF，用力室0.5μm以上粒子<1000個/CF。 測定方法：將激光粒子計數器的采樣流量調整到1CFM，連續檢測3 min，取平均值，測定高度在工作麵區域約為800 mm~1200 mm。此方法是工程中經常采用的方法。一般情況下，最末一級草莓视频APP入口在线的過濾效率決定淨化間的潔淨度級別，以0.3μm、100級潔淨間的空氣淨化係統為例分析，工程實踐中一般要選擇0.12μm、99.999%的ULPA（U15）。

外氣經過噴淋（相當於比色法30%），又經過高效草莓视频APP入口在线（HEPA）和超高效草莓视频APP入口在线（ULPA）後，檢測淨化間的塵埃分布為：0.1μm~0.3μm的塵埃為8.76個/ft3；大於等於0.3μm的塵埃為35個/ft3。與表1比較發現可以滿足淨化間的淨化級別。因此，選擇最末一級草莓视频APP入口在线的過濾效率對滿足淨化間的淨化級別有重要的意義。（參考www.rfilter.com）

（2）對草莓视频APP入口在线壽命的影響以l00級潔淨間的空氣淨化係統為例分析： 現在的係統中由於在冬季安裝上化學草莓视频APP入口在线後，活性炭粒的發塵量較大致使後麵的高效草莓视频APP入口在线容易堵塞，阻力增加較快導致更換頻繁。

另外，100級潔淨間的草莓视频APP入口在线級別的級差比較大，例如：粗中效和高效之間相差10級，致使前一級草莓视频APP入口在线不能很好地保護高效草莓视频APP入口在线，導致高效草莓视频APP入口在线壓差經常超標，更換比較頻繁。1997年10月到1998年3月間前工序空調係統13台循環風機更換的高效草莓视频APP入口在线數量見表3。 表3草莓视频APP入口在线更換數量統計

有關資料表明，該高效草莓视频APP入口在线在容塵量為1490 g/m2的情況下的預測壽命為100天，可見草莓视频APP入口在线的實際壽命小於預測壽命。由於每台高效草莓视频APP入口在线價格為1078元/台，經計算僅半年時間草莓视频APP入口在线由於壽命縮短導致增加的費用為2.7萬元。

此外，從以上空氣淨化係統的流程圖中還可以看出，10000級潔淨室的空氣過濾係統中兩級中效草莓视频APP入口在线效率之間沒有級差，使前一級草莓视频APP入口在线沒有起到保護後一級草莓视频APP入口在线的作用。

使用草莓视频APP入口在线的“終阻力”作為判斷草莓视频APP入口在线失效的標準，在實際運行中存在許多問題：由於終阻力值與通過草莓视频APP入口在线的風量密切相關，當風量發生變化時終阻力值也應相應發生變化。

而在實際中保證草莓视频APP入口在线的通風量不變是很難做到的，顯然根據草莓视频APP入口在线的壓差是否超過終阻力值來判斷是否需要更換草莓视频APP入口在线是不合理的。在實際運行中還需要根據淨化間的溫濕度、正壓值來判斷是否需要更換草莓视频APP入口在线。當淨化間正壓下降時表示進入房間的新風量減少了，如果在係統設備運行正常的情況下，一般是由於草莓视频APP入口在线堵塞，阻力增加導致係統風量減少所導致。

3·問題的對策 3.1選擇合理的草莓视频APP入口在线組合和草莓视频APP入口在线效率一般情況下，最末一級草莓视频APP入口在线和房間的換氣次數對淨化間的空氣潔淨度起決定作用，上風段的各級草莓视频APP入口在线起到保護作用以延長末端高效草莓视频APP入口在线的使用壽命或保護空調係統的設備，如避免盤管集塵，換熱係數降低，以確保其正常工作。

如果相連的兩級效率特別接近，則後一級負擔太小；如果級別相差太大，則後一級草莓视频APP入口在线不能得到有效的保護。我公司的100級淨化間的空氣過濾係統中由於化學草莓视频APP入口在线有發塵，導致其後麵的高效草莓视频APP入口在线更換頻繁（詳見表3），所以草莓视频黄版采取了在化學草莓视频APP入口在线和高效草莓视频APP入口在线之間加裝一級草莓视频APP入口在线的方法使後一級草莓视频APP入口在线的壽命得到延長，具體可以采取以下的空調係統：

通過采取以上的措施，雖然亞高效草莓视频APP入口在线的更換頻度增加了，但是由於其成本低（200元/台），隻是高效草莓视频APP入口在线成本的1/5，所以最終還是達到了降低成本的目的。

此外，為解決由於通過各個高效草莓视频APP入口在线的風量不同而引起的個別循環空調機中的高效草莓视频APP入口在线更換的頻度高的問題，可以在新風機中加裝化學草莓视频APP入口在线和亞高效草莓视频APP入口在线，將新風集中處理而不是將新風送到各循環風機中再進行處理，以減少由於各個循環風機風量的不同而增加的更換量。此問題已經在我公司的新工程中得到了改善。在201#棟的新工程中新風空調機組采取的新流程如圖1所示。

3.2選擇合理的終阻力值終阻力是當草莓视频APP入口在线失效時即達到額定容塵量時的草莓视频APP入口在线阻力值。終阻力值的選擇直接決定草莓视频APP入口在线的使用壽命、空調係統風量變化範圍、係統能耗。一般情況下，終阻力值是初阻力值的2~3倍，而且與通過草莓视频APP入口在线的風量有關，關係如圖2所示。

實際運行管理中可以根據草莓视频APP入口在线廠家提供的風量―阻力曲線，查出在實際運行中通過草莓视频APP入口在线的風量下所對應的初阻力，然後根據初阻力計算出終阻力值，並依據實際運行中的情況對終阻力值進行修正，作為更換草莓视频APP入口在线的標準。

總之，在淨化空調係統的運行維護中，草莓视频APP入口在线作為易耗品占總運行成本的1/3，所以研究草莓视频APP入口在线的使用情況降低更換頻度，對降低運行成本有十分重要的意義。

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